干式真空泵的应用范围

点击次数:   更新时间:19/12/03 15:52:12     来源:www.rianxofala.com关闭分    享:
  原有的机械真空泵普遍存在着工作介质返流的现象,这一现象会影响到产品的品质,让设备的维护变的艰难,但如果使用的是干式真空泵就不会出现这一现象,因此它在多个行业中推广开来。那么它具体都能够应用在哪些领域呢welcome-500彩票-首页?
  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中welcome-500彩票-首页;
  2welcome-500彩票-首页、半导体刻蚀工艺welcome-500彩票-首页。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微?;烊氡糜椭衱elcome-500彩票-首页,而微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;
  4welcome-500彩票-首页、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥welcome-500彩票-首页、脱泡welcome-500彩票-首页、包装等welcome-500彩票-首页;
  5welcome-500彩票-首页、将真空泵用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染welcome-500彩票-首页。
  干式真空泵的应用要还是在以上几个方面welcome-500彩票-首页,从而达到理想的使用效果。并且随着其性能的逐渐提升,该设备的应用范围也在逐渐扩大,从而被更多的企业所使用welcome-500彩票-首页。2021.6.29

干式真空泵


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